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硅片清洗用超純水設(shè)備

  • 所屬分類：超純水設(shè)備
  • 瀏覽次數(shù)：672次
  • 發(fā)布日期：2023/8/10 11:23:47
  • 概述

單晶硅切片及清洗對(duì)水質(zhì)極為嚴(yán)格，要求電阻值：15-18MΩ/cm, 所以我們采用二級(jí)反滲透+離子交換工藝。產(chǎn)水電阻值可以穩(wěn)定：18.2MΩ/cm,全部滿足 “劃片”“膜片”用水要求。

純水機(jī)性能參數(shù)：產(chǎn)水量： 5噸/小時(shí)
純水回收率：≥60%
產(chǎn)水PH   :  5-7
產(chǎn)水濁度  ：≤ 1 NTU
產(chǎn)水電阻率： ≥18.2MΩ/cm（0.056μs/cm）
可溶性硅(SiO2)  ：≤0.01mg/L
下一個(gè)：車用尿素液生產(chǎn)用純水設(shè)備
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